[15a-P6-1~13] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[15a-P6-9] Influence of substrate pretreatment on surface roughness of diamond

〇Rika Tamano¹, Naoki Okamoto¹, Takeyasu Saito¹, Hitoshi Umezawa², Yoshiaki Mokuno² (1.Osaka Pref. Univ., 2.AIST)

Keywords:diamond, surface roughness

ダイヤモンドは並外れた物性を示し、次世代の電子デバイスへの応用が強く期待されている。高品質ダイヤモンド薄膜を作製するためには、基板の表面をより平坦にする必要がある。本研究では、プラズマCVD法を用い、イオンビームエッチングや水素プラズマ等の処理を施したダイヤモンドⅠb基板上にp型ダイヤモンドを成膜し、表面粗さについて評価を行った。