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[15a-P7-8] パルスレーザーの繰り返し周波数がSmBCO膜の結晶成長様式に与える影響
キーワード:REBCO薄膜、PLD法、高速成膜
PLD法などの気相法で成膜したREBCO膜の配向性やBaMO3の自己組織化には、拡散距離などの結晶成長パラメータが影響を与える。これらのパラメータは、PLD法の諸条件によっても大きく変化する。また、REBCO超伝導線材では生産コスト低減のため、高速成膜(高fL)が求められている。本研究では高速成膜が配向性などの結晶成長様式に与える影響について明らかにするため、SmBCO薄膜の表面形態観察からPLD法の諸条件、特にfLが与える影響について検討を行った。