[15a-P8-1~31] 12.1 作製・構造制御

[15a-P8-1] 高速分子線セル加熱機構の改良によるプロセス時間の短縮

〇松本 拓也¹、信長 賢輝¹、松原 亮介²、鄭 敏喆¹、小島 広孝¹、辨天 宏明¹、中村 雅一¹ (1.奈良先端大物質、2.静岡大院工)

キーワード：真空蒸着法、有機半導体