[15a-P8-1~31] 12.1 作製・構造制御

[15a-P8-5] イオンアシスト蒸着重合によるCu/PTFEの接着強度改善

〇(M2)河村 拓¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大院工)

キーワード：蒸着重合、金属/ポリマー界面、接着強度

Poly(tetrafluoroethylene) (PTFE) と金属の付着強度を改善するために、PTFE表面にイオンアシスト蒸着重合により4-hydroxybutyl acrylate glycidylether（4HBAGE）の薄膜を形成した。この表面に銅を真空蒸着し、180 °はく離試験を行った。付着強度は、未処理のPTFE表面では1.23 N/cmであったのに対し、4HBAGE処理表面では最大3.73 N/cmに向上した。