[15a-P8-1~31] 12.1 作製・構造制御

[15a-P8-8] 有機EL素子の上部Al電極膜作製における低ダメージスパッタ法と蒸着法の比較検討

〇星 陽一¹、小林 信一¹、澤田 豊¹、内田 孝之¹、安田 洋司² (1.東京工芸大、2.神奈川県産技短大)

キーワード：スパッタ堆積、蒸着、電極膜