[15p-211-1~18] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15p-211-16] Electrical contact formation between Cu electrode and Si solar cell substrate using blue laser

〇Masaaki Saiga¹, Daisuke Ando¹, Yuji Sutou¹, Junichi Koike¹, Junki Sakamoto², Masaya Suwa², Koji Tojo², Yasuhiro Yamakage² (1.Tohoku Univ., 2.Shimadzu Corp.)

Keywords:solar cell, Changing electrode material from Ag to Cu, Forming electrical contact between Cu and Si

Si系太陽電池におけるAg電極は、高価格という課題があり、安価なCuへの変換が望まれている。一般的にSi基板表面には絶縁層のSiN反射防止膜が成膜されており、Agペーストのファイヤースルー処理によりAg電極を形成する。一方Cuを用いる場合、Cu/Si間の拡散を防ぐため高温焼成を避け、更にCu電極形成前にSiNを選択的に除去する必要がある。本研究では青色レーザーをSiN/Si基板上に照射しSiNを選択的に除去し、Cu/Siのコンタクト形成を試みた。