[15p-211-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-211-16] 青色レーザーを用いたCu電極とSi太陽電池基板間のコンタクト形成

〇雑賀 真晃¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹、小池 淳一¹、坂本 隼規²、諏訪 雅也²、東條 公資²、山蔭 康弘² (1.東北大院工、2.島津製作所)

キーワード：太陽電池、銀電極を銅電極へ、Cu/Siのコンタクト形成

Si系太陽電池におけるAg電極は、高価格という課題があり、安価なCuへの変換が望まれている。一般的にSi基板表面には絶縁層のSiN反射防止膜が成膜されており、Agペーストのファイヤースルー処理によりAg電極を形成する。一方Cuを用いる場合、Cu/Si間の拡散を防ぐため高温焼成を避け、更にCu電極形成前にSiNを選択的に除去する必要がある。本研究では青色レーザーをSiN/Si基板上に照射しSiNを選択的に除去し、Cu/Siのコンタクト形成を試みた。