[15p-211-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-211-6] TEMによる太陽電池用n型Cz-Si中の酸素析出挙動の評価 －炭素濃度と成長条件の影響

〇小島 拓人¹、木下 晃輔¹、鈴木 涼太¹、中村 京太郎¹、小椋 厚志¹、大下 祥雄²、正田 勲³、橘 昇二³ (1.明大理工、2.豊田工大、3.株式会社トクヤマ)

キーワード：酸素析出物、TEM、キャリア寿命

太陽電池用単結晶シリコン中の酸素は結晶成長およびデバイスプロセス中に析出，成長し，キャリア寿命の主要な劣化要因となる．本研究では太陽電池プロセスによる酸素析出物の成長とデバイスへの影響を透過電子顕微鏡（TEM）評価から議論する．また析出の初期状態の影響を検討するため2種の成長条件（CZ-A, CZ-B）を用い，~1000 °Cの処理を含むn型PERT両面受光型セル作製プロセス後の基板を観察した．