[15p-211-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-211-8] 溌液るつぼを用いて成長したPV 用n型CZシリコン結晶の品質

〇福田 哲生¹、堀岡 佑吉²、刈谷 宣政³、棚橋 克人¹、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研、2.FTB研究所（株）、3.エム・セテック（株）)

キーワード：シリコン、成長、溌液るつぼ

溌液るつぼを用いてn型CZシリコン単結晶を成長した（LCZ成長と呼ぶ）。ライフタイムは従来のCZ結晶の約3倍でありMCZ結晶に匹敵する。るつぼ内壁に溌液性があるためシリカガラスが溶解せず、酸素、炭素、金属などが低減されたためと考えられる。