[15p-211-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-211-9] ＰＶセル用薄型シリコンウエハ加工におけるダイヤモンド・ワイヤー品質の影響

〇福田 哲生¹、鈴木 信隆¹、小野 裕道²、三瓶 義之²、棚橋 克人¹、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研、2.福島県ハイテクプラザ)

キーワード：シリコン、ダイヤモンドワイヤー、面粗さ

従来ワイヤーと改良ワイヤーを用いてそれぞれシリコン単結晶ブロックから120μｍ厚のウエハを加工し、表面粗さを測定した。改良ワイヤーではより粗さが小さくなり、これはウエハ強度が向上していることを示唆する。