[15p-301-2~10] The research forefront of plasma processing technology for energy related materials

[15p-301-3] Plasma Deposition Technique to Passivation for Si Solar Cells

〇Tetsuya Kaneko¹ (1.Tokai Univ.)

Keywords:solar cells, heterojunction, passivation

太陽電池の製造過程においては、光電変換層の形成のみならず透明電極やパッシベーション層の形成など、随所に種々のプラズマ成膜技術が用いられている。現在市場において高いシェアを持つ結晶シリコン系太陽電池の中で、特に高い変換効率を達成しているヘテロ接合型太陽電池は、水素化アモルファスシリコンi層による高いパッシベーション性能が高効率に大きく寄与している。本講演では、Si太陽電池におけるパッシベーション膜のプラズマ成膜技術について、a-Si:H/c-Siヘテロ接合型太陽電池を中心に取り上げ、プラズマプロセスとパッシベーション性能との関連、太陽電池特性への影響などについて紹介する。