[15p-302-1~7] Perspectives on In-situ Observations during the Preparation of Organic Thin Film Devices

[15p-302-2] Real-time analysis of organic thin-film growth by using quartz crsytal microbalance

〇Ryosuke Matsubara¹, Atsushi Kubono¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:organic thin-film growth, quartz crystal microbalance

有機デバイスの高性能化のためには、作製するデバイスの動作原理に合わせた薄膜の高次構造制御が必須であり、そのためには、吸着、拡散、脱離といった薄膜成長初期の素過程を理解することが重要となる。しかしながら有機薄膜の成長過程を評価する手法が限られていることもあり、素過程に関する理解は十分とはいえず、現在も様々な研究が行われている。本講演では、我々の研究室で行っている水晶振動子マイクロバランス法を用いた有機薄膜形成過程の解析について紹介する。