[15p-302-1~7] 有機薄膜素子作製その場観察技術の展望－ 「作って測る」から「作りながら測る」へ －

[15p-302-2] 水晶振動子マイクロバランスによる有機薄膜形成過程のリアルタイム解析

〇松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静岡大工)

キーワード：有機薄膜成長、水晶振動子マイクロバランス

有機デバイスの高性能化のためには、作製するデバイスの動作原理に合わせた薄膜の高次構造制御が必須であり、そのためには、吸着、拡散、脱離といった薄膜成長初期の素過程を理解することが重要となる。しかしながら有機薄膜の成長過程を評価する手法が限られていることもあり、素過程に関する理解は十分とはいえず、現在も様々な研究が行われている。本講演では、我々の研究室で行っている水晶振動子マイクロバランス法を用いた有機薄膜形成過程の解析について紹介する。