[15p-302-1~7] Perspectives on In-situ Observations during the Preparation of Organic Thin Film Devices

[15p-302-5] In situ observations of organic thin film during device fabrication or device operation using synchrotron radiation

〇Takeshi Watanabe¹, Tomoyuki Koganezawa¹, Satoshi Yasuno¹, Mamoru Kikuchi², Noriyuki Yoshimoto², Ichiro Hirosawa¹ (1.JASRI., 2.Iwate Univ.)

Keywords:X-ray diffraction, Hard X-ray photoemission spectroscopy, Organic thin film

我々はSPring-8の放射光を駆使して、有機薄膜形成中やデバイス動作中の結晶構造や電位分布をその場観察する技術を開発してきた。講演では、X線回折法を用いた有機薄膜形成過程のその場観察に関する研究について紹介する。さらに我々が近年取り組んでいる、硬X線光電子分光法を用いた有機薄膜トランジスタのオペランド計測に関する研究についても併せて紹介する。