[15p-302-1~7] 有機薄膜素子作製その場観察技術の展望－ 「作って測る」から「作りながら測る」へ －

[15p-302-5] 放射光を用いた有機薄膜形成過程およびデバイス動作過程のその場観察

〇渡辺 剛¹、小金澤 智之¹、安野 聡¹、菊池 護²、吉本 則之²、広沢 一郎¹ (1.(公財)高輝度光科学センター、2.岩手大学理工)

キーワード：X線回折法、硬X線光電子分光、有機薄膜

我々はSPring-8の放射光を駆使して、有機薄膜形成中やデバイス動作中の結晶構造や電位分布をその場観察する技術を開発してきた。講演では、X線回折法を用いた有機薄膜形成過程のその場観察に関する研究について紹介する。さらに我々が近年取り組んでいる、硬X線光電子分光法を用いた有機薄膜トランジスタのオペランド計測に関する研究についても併せて紹介する。