[15p-303-1~16] 12.5 Organic solar cells

[15p-303-16] Combinatorial device process of Perovskite/Si tandem solar cells: High-speed in-situ Analysis of thin-film properties

〇Nobuyuki Matsuki¹, Kazuhiro Kawashima², Kenji Itaka³, Tomomasa Sato¹, Hideomi Koinuma⁴ (1.Kanagawa Univ., 2.Comet Inc., 3.Hirosaki Univ., 4.NIMS)

Keywords:Perovskite solar cells, Spectroscopic Ellipsometry

有機無機ハイブリッドペロブスカイト（ペロブスカイト）薄膜と結晶Siとによる高効率タンデム型太陽電池の開発には、実験の効率化と再現性の大幅な向上を実現させる手段としてコンビナトリアル手法の導入が有効であり、ペロブスカイト/Siタンデム型太陽太陽電池を創製するコンビナトリアルデバイスプロセス（CDP）装置の構築を計画している。CDPにおいては、膜厚や組成などのその場診断によるフィードバック制御が重要となる。本研究では、診断手法として高速分光エリプソメトリーの適用可能性を検討し、ペロブスカイト薄膜の組成や膜厚を同一基板内で変化させたコンビナトリアル試料における光学特性・膜厚を系統的に解析した結果について報告する。