[15p-303-1~16] 12.5 有機太陽電池

[15p-303-16] ペロブスカイト/Siタンデム型太陽電池のコンビナトリアルデバイスプロセス： 薄膜物性の高速in-situ解析法

〇松木 伸行¹、川嶋 一裕²、伊髙 健治³、佐藤 知正¹、鯉沼 秀臣⁴ (1.神奈川大工、2.(株）コメット、3.弘前大、4.物材機構)

キーワード：ペロブスカイト太陽電池、分光エリプソメトリー

有機無機ハイブリッドペロブスカイト（ペロブスカイト）薄膜と結晶Siとによる高効率タンデム型太陽電池の開発には、実験の効率化と再現性の大幅な向上を実現させる手段としてコンビナトリアル手法の導入が有効であり、ペロブスカイト/Siタンデム型太陽太陽電池を創製するコンビナトリアルデバイスプロセス（CDP）装置の構築を計画している。CDPにおいては、膜厚や組成などのその場診断によるフィードバック制御が重要となる。本研究では、診断手法として高速分光エリプソメトリーの適用可能性を検討し、ペロブスカイト薄膜の組成や膜厚を同一基板内で変化させたコンビナトリアル試料における光学特性・膜厚を系統的に解析した結果について報告する。