[15p-304-1~10] 長期保管メモリのための高信頼配線技術

[15p-304-1] 長期保管メモリのための高信頼配線技術

〇上野 和良^1,2 (1.芝浦工大工、2.SITグリーンイノベ研)

キーワード：半導体メモリ、長期保管、電極配線

年々増加するデジタルデータの長期保管のための媒体として、半導体不揮発性メモリが期待される。一方、従来の半導体集積回路が、データの処理や主として短期の記憶を目的に発展してきた経緯から、100年を超える超長期保管における信頼性は考慮されていない。超長期保管の媒体として半導体集積回路を考える場合、メモリ素子の高信頼化と同時に素子間を接続する配線や外部との接続のための電極パッドの腐食などに対して、より高い信頼性が必要になると予想される。本シンポジウムでは集積回路配線に関して、100年を超える超長期保管の視点から、信頼性の課題や新たな技術の可能性について議論する。