[15p-304-1~10] 長期保管メモリのための高信頼配線技術

[15p-304-7] 原子層により皮膜された銅薄膜の電子物性と安定

〇岡田 晋¹ (1.筑波大数理)

キーワード：原子層物質

量子論に立脚した電子状態計算の手法を用いて、原子層物質で皮膜された銅薄膜の電子構造と伝導特性、さらに酸素吸着に対する安定性の解析を行った。その結果、銅は原子層物質吸着により電子構造を変調することなく高い伝導特性を維持すること、さらに酸化に対してロバストであることを明らかにした。