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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[15p-311-1~18] 6.4 薄膜新材料

2017年3月15日(水) 13:15 〜 18:15 311 (311)

篠田健太郎(産総研)、中村吉伸(東大)、名村今日子(京大)

17:00 〜 17:15

[15p-311-14] CAPD法を用いたAlBN薄膜の成長とハードコーティングへの応用

〇吉田智博¹、村澤功基²、吉武剛³ (1.福岡県工技センター、2.オーエスジー株式会社、3.九大院総理工)

キーワード：窒化物硬質皮膜、AlBN薄膜