[15p-311-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[15p-311-16] Influence of Surface Roughness of Aluminum Alloy on Yttria Film by Chelate Flame Method

〇Takashi Costa¹, Atsushi Nakamura², Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ.Tech., 2.Chubu Chelest Co.,Ltd.)

Keywords:chelate flame method, yttria film, aluminum alloy

前回の報告では、キレートフレーム法により合成されたイットリア膜は機械的接合と化学的結合の両方によって接合していると考えられた。今回は、表面粗さを変えたアルミニウム合金上にイットリア膜を堆積させ、その表面粗さがイットリア膜へ及ぼす影響を調査した。表面粗さによる気孔率、及び膜厚の変化は確認されなかった。また、各試料のY₂O₃膜/A5052基板界面においてY、Al及びMg各元素の拡散現象は確認されなかった。