[15p-311-1~18] 6.4 薄膜新材料

[15p-311-16] アルミニウム合金の表面粗さがキレートフレーム法で合成されたイットリア膜へ及ぼす影響

〇小寿田 貴士¹、中村 淳²、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技術科学大学、2.中部キレスト株式会社)

キーワード：キレートフレーム法、イットリア膜、アルミニウム合金

前回の報告では、キレートフレーム法により合成されたイットリア膜は機械的接合と化学的結合の両方によって接合していると考えられた。今回は、表面粗さを変えたアルミニウム合金上にイットリア膜を堆積させ、その表面粗さがイットリア膜へ及ぼす影響を調査した。表面粗さによる気孔率、及び膜厚の変化は確認されなかった。また、各試料のY₂O₃膜/A5052基板界面においてY、Al及びMg各元素の拡散現象は確認されなかった。