[15p-311-1~18] 6.4 薄膜新材料

[15p-311-18] キレートフレーム法を用いたZrO₂膜の緻密化

〇池田 裕¹、中村 淳^1,2、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技術科学大学、2.中部キレスト)

キーワード：キレートフレーム法、ジルコニア