[15p-312-1~10] 3.1 光学基礎・光学新領域

△ [15p-312-7] Whispering Gallery Mode共振を利用したマイクロ球直径計測ー楕円体モデルの構築ー

〇林 晃平¹、儲 博懐¹、趙 正¹、道畑 正岐¹、高増 潔¹、高橋 哲¹ (1.東大工)

キーワード：Whispering Gallery Mode、球径計測、微小球共振

マイクロ形状計測技術の開発が盛んな一方で，絶対寸法を測定するための校正技術は十分ではない．そこで，測定標準に用いられる球の寸法計測手法としてWGM共振に着目し，真球に特化したマイクロ形状の高精度な計測手法を提案する．更なる計測一般化の試みとして回転楕円体と光の相互作用についてMie理論に基づく解析解を導入し，数値解析により整合性を確かめた上で本計測手法に適用させるための理論的基礎の確立を目指す．