[15p-315-1~17] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[15p-315-12] β-Ga₂O₃を用いたpnダイオードの開発

〇綿引 達郎¹、湯田 洋平¹、古川 彰彦¹、山向 幹雄¹、滝口 雄貴²、宮島 晋介² (1.三菱電機、2.東工大)

キーワード：酸化ガリウム、pnダイオード、ヘテロ接合