[15p-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15p-318-6] レーザー駆動プラズマＸ線レーザーによる絶対反射率測定

〇今園 孝志¹ (1.量研機構関西)

キーワード：Ｘ線レーザー、絶対反射率、多層膜

Mo/Si多層膜鏡をＸ線シリコンフォトダイオード検出器に積層した反射型ビームスプリッタ（BS）を試作し、波長13.9 nmのレーザー駆動プラズマＸ線レーザー（XRL）を用いてMo/Si多層膜鏡（参照用）の絶対反射率を測定した。その結果、XRLで得られた絶対反射率は放射光で得られた結果とほぼ一致した。このことから試作したBSはXRLによる絶対反射率測定に有効であることが示された。