[15p-411-1~16] 13.9 光物性・発光デバイス

[15p-411-10] Ｓｉ基板上における非磁性Y-W-O薄膜のＭＢＥ成長

〇尾身 博雄¹、俵 毅彦¹、山本 秀樹¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：イットリウム、タングステン、分子線エピタキシャル成長

量子光学実験用非磁性結晶を得ることを目的として、Si(111)基板上にY-W-O薄膜を分子線エピタキシャル成長した。