[15p-411-1~16] 13.9 光物性・発光デバイス

[15p-411-9] Er₂O₃/Y₂O₃超格子のＭＢＥ成長

〇尾身 博雄¹、伊藤 友樹¹、俵 毅彦¹、山本 秀樹¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：エルビウム、イットリウム、分子線エピタキシャル成長

Si基板上にエピタキシャル成長したEr₂O₃膜からの発光を増強させることを目的として、Er₂O₃とY₂O_{3</subの超格子をSi(111)基板上にMBE成長することに成功した。}