[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-1] 摩擦摩耗試験機を用いたDLC膜のはく離評価における振幅と繰り返し周波数の影響

〇大花 継頼¹、間野 大樹¹、中村 挙子¹ (1.産総研)

キーワード：DLC膜、はく離評価、摩擦摩耗試験

DLC膜は低摩擦特性を示すため，摺動部へのコーティング膜として広く適用されている．耐摩耗性にも優れるため，通常，数ミクロン程度の薄膜として用いられるが，摩耗による損耗よりはく離によって機能を失う場合も多く，DLC膜を適用する場合においてしばしば問題となっている．被膜の密着性を評価する方法として，スクラッチ試験やロックウェル圧痕試験などがよく知られているが，これらの結果は摺動環境でのはく離特性と異なることが多く，摺動材料としてのはく離評価法の確立が求められている．これまでに，往復動の摺動試験を用いて段階的に荷重を増加させることで，はく離荷重を推定する方法を提案してきた．はく離荷重は摺動条件に影響されることから，摺動振幅および繰り返し周波数の影響を検討したので報告する．