[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-18] ヘリウムイオン顕微鏡を用いたSiO₂膜上の単分子膜へのナノポア形成

〇林 拓海¹、川合 健太郎¹、有馬 健太¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工)

キーワード：ナノポア形成、薄膜転写

直径数nmのポアはDNA鎖の各塩基を識別することができる。薄膜中のナノポアは、分子識別能の向上が期待される。今回我々は、二次元膜にナノポア加工を行った。SiO₂自立膜に数μmのポアを形成した後、銅箔上のCVDグラフェンを転写した。同様にBNやMoS₂も転写を行い、転写後の二次元膜の層数はラマン分光法やXPSを用いて確認した。Heイオン顕微鏡を用いてグラフェンに10nm以下のポアを形成した。