[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-2] 導電性DLC膜のエネルギーバンド構造と電子親和力の解析

〇木下 治久¹、村山 翼¹、松本 健¹ (1.静大院工)

キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ、ダイヤモンド状炭素膜、電子親和力

a-CNx:H（導電性DLC）膜は硬くて表面から電子を放出し易く、電界電子放出膜としてしばしば用いられている。その電子放出機構は未だ謎が多く、今まで明快な物理モデルが示されていなかった、今回DLC膜の表面に極薄のSiO₂膜を堆積したFNトンネリング素子を作製してそのI-V特性を測定し、DLC膜のエネルギーバンド構造と電子親和力(Electron Affinity、2.6 eV)を解析した。