[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-5] アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形と光駆動ポンプへの応用

〇青野 祐美¹、原田 人萌¹、北沢 信章¹、渡邉 芳久¹ (1.防大材料)

キーワード：窒化炭素、光誘起変形、エネルギー変換

反応性高周波マグネトロンスパッタ法で作製したアモルファス窒化炭素薄膜に可視光を照射すると変形を生じる（光誘起変形）。本講演では、アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形が起こる原因について、各種分光法を用いた分析した結果と、応用の一つとして光駆動ポンプを試作し、その評価を行った結果について報告する。