[15p-412-1~18] 6.2 Carbon-based thin films

[15p-412-6] Detection of etching by sodium hydride solution on amorphous carbon and related films

Jumpei Nishikawa¹, Naoto Ohtake¹, 〇Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Inst. Tech.)

Keywords:Amorphous carbon film, Reaction, Etching

a-C:H:Si膜とa-C:H膜の水酸化ナトリウム溶液に対する腐食速度の比較からSi添加による水酸化ナトリウムに対する耐食性能の変化を検証した．水酸化ナトリウム溶液によってa-C:H膜は ほぼ腐食されないのに対して，Siを添加すると腐食速度が上昇することが示された