[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-6] アモルファス炭素系膜と水酸化ナトリウム水溶液の反応検出

西川 純平¹、大竹 尚登¹、〇赤坂 大樹¹ (1.東工大)

キーワード：アモルファス炭素膜、反応、エッチング

a-C:H:Si膜とa-C:H膜の水酸化ナトリウム溶液に対する腐食速度の比較からSi添加による水酸化ナトリウムに対する耐食性能の変化を検証した．水酸化ナトリウム溶液によってa-C:H膜は ほぼ腐食されないのに対して，Siを添加すると腐食速度が上昇することが示された