[15p-421-1~18] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[15p-421-6] アニールによるナノワイヤ量子ドットの横寸法縮小化

〇前原 史雄¹、舘林 潤²、石田 悟己¹、西岡 政雄¹、太田 泰友²、岩本 敏^1,2、荒川 泰彦^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構)

キーワード：ナノワイヤ、量子ドット、アニール

量子情報処理などの実現に向けた高性能微小光源として量子ドットをナノワイヤ中に埋め込んだナノワイヤ量子ドットが注目されている。ナノワイヤ量子ドットを用いた光デバイスの特性向上にはナノワイヤ量子ドットの直径の縮小により量子閉じ込め効果を大きくすることが重要である。今回，ナノワイヤ量子ドット形成後にアニールを施すことでナノワイヤ中の量子ドットを選択的にエッチングし直径を縮小することに成功した。