[15p-422-1~16] 3.13 Semiconductor optical devices

[15p-422-3] Long semiconductor optical amplifier for high output power of VCSEL

〇Zeuku Ho¹, Keisuke Shimura¹, Xiaodong Gu¹, Masanori Nakahama¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Dept. Tech.)

Keywords:VCSEL, SOA

面発光レーザ(VCSEL)は小型で高ビーム品質といった特徴を有し可搬式レーザ加工機などへの応用の可能性がある．しかしVCSELの単一モード出力は数mW程度にとどまっている．我々は高出力化のためにVCSELとブラッグ反射鏡導波路による半導体光増幅器(SOA)との集積構造を提案した． SOAは長尺化することで更なる高出力化が期待できるが，増幅自然放出光(ASE)によってSOA長が制限される．今回はASEを抑圧するウェハ設計と作製したデバイスについて報告する．