[15p-422-1~16] 3.13 Semiconductor optical devices

[15p-422-4] Beam Scanner based on VCSEL/Optical Amplifier Integration

〇Keisuke Shimura¹, Xiaodong Gu¹, Masanori Nakahama¹, Zeuku Ho¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Dept. Tech.)

Keywords:VCSEL

本研究では，面発光レーザを用いた非機械式のビーム掃引デバイスを提案する．先行研究では， DBR導波路を用いて入射光の波長を可変することでビームの掃引を行い，1000点以上の解像点数を実現した．また電流注入により出力を増幅するVCSEL増幅器を用いることで，数百mWのパルス出力が確認されている．本報告ではオンチップでビーム掃引を実現する集積型デバイスの製作と測定を行ったので，その結果を述べる．