[15p-422-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[15p-422-4] 増幅機能を有するVCSELビーム掃引デバイス

〇志村 京亮¹、顧 暁冬¹、中濵 正統¹、許 在旭¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部)

キーワード：面発光レーザ

本研究では，面発光レーザを用いた非機械式のビーム掃引デバイスを提案する．先行研究では， DBR導波路を用いて入射光の波長を可変することでビームの掃引を行い，1000点以上の解像点数を実現した．また電流注入により出力を増幅するVCSEL増幅器を用いることで，数百mWのパルス出力が確認されている．本報告ではオンチップでビーム掃引を実現する集積型デバイスの製作と測定を行ったので，その結果を述べる．