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[15p-422-4] 増幅機能を有するVCSELビーム掃引デバイス
キーワード:面発光レーザ
本研究では,面発光レーザを用いた非機械式のビーム掃引デバイスを提案する.先行研究では, DBR導波路を用いて入射光の波長を可変することでビームの掃引を行い,1000点以上の解像点数を実現した.また電流注入により出力を増幅するVCSEL増幅器を用いることで,数百mWのパルス出力が確認されている.本報告ではオンチップでビーム掃引を実現する集積型デバイスの製作と測定を行ったので,その結果を述べる.