[15p-422-1~16] 3.13 Semiconductor optical devices

[15p-422-5] Wide Wavelength Sweep & Low Voltage Operation of MEMS Tunable VCSEL employing Mechanical Resonance

〇Masanori Nakahama¹, Shunya Inoue¹, Akihiro Matsutani², Takahiro Sakaguchi¹, Fumio Koyama¹ (1.FIRST, Tokyo Tech., 2.Technical Department, Tokyo Tech.)

Keywords:VCSEL, MEMS VCSEL

マイクロマシン反射鏡を面発光レーザに集積した MEMS VCSEL は，長いコヒーレント長を持ち，広帯域・高速な波 長掃引が可能であるため，生体組織のイメージング技術で ある OCT 用光源として有力視されている.静電力で駆動す る MEMS VCSEL は，高い駆動電圧が必要であることが課 題であった.本報告では，MEMS の共振周波数で駆動する ことによる低駆動電圧化の可能性について述べる.