[15p-422-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[15p-422-5] 機械的共振を用いた MEMS 波長可変 VCSEL の広帯域掃引・低駆動電圧動作

〇中濱 正統¹、井上 俊也¹、松谷 晃宏²、坂口 孝浩¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部)

キーワード：面発光レーザ、MEMS VCSEL

マイクロマシン反射鏡を面発光レーザに集積した MEMS VCSEL は，長いコヒーレント長を持ち，広帯域・高速な波 長掃引が可能であるため，生体組織のイメージング技術で ある OCT 用光源として有力視されている.静電力で駆動す る MEMS VCSEL は，高い駆動電圧が必要であることが課 題であった.本報告では，MEMS の共振周波数で駆動する ことによる低駆動電圧化の可能性について述べる.