[15p-502-1~8] 金属酸化物の結晶物性に迫る

[15p-502-1] バルク結晶作成技術と結晶物性

〇福田 承生¹ (1.（株）福田結晶)

キーワード：酸化物単結晶、結晶作成技術、結晶欠陥

金属酸化物の結晶物性について、バルク単結晶作成技術から応用面に関連付けて概観する。
特に半導体、圧電体、SAW材料、光機能材料、光学部品、半導体用基板等広く応用を持つ結晶について、結晶作成技術、作成条件と酸素欠損をはじめ、転位、点欠陥、不純物等との関係を話す。
代表的例としてAl₂O₃、ZnO、β-Ga₂O₃やLN、LT等複合酸化物をとりあげる。