[15p-502-1~8] Approaching the Crystal Properties of Metal Oxide

[15p-502-6] Epitaxial growth of tin-based oxide films for oxide electronics

〇Kohei FUJIWARA¹, Kazuki NISHIHARA¹, Junichi SHIOGAI¹, Atsushi TSUKAZAKI¹ (1.IMR, Tohoku Univ.)

Keywords:transparent conducting films, field-effect transistors, high-mobility system

スズやビスマスなどの重い典型元素の複酸化物が、新たな酸化物デバイス材料として注目を集めている。本講演では、新規透明導電膜候補物質であるペロブスカイト型スズ酸化物BaSnO₃のエピタキシャル成長と透明導電膜およびトランジスタ応用に向けた取り組みについて紹介する。