[15p-502-1~8] 金属酸化物の結晶物性に迫る

[15p-502-6] スズ系複酸化物のエピタキシャル成長と電子機能開拓

〇藤原 宏平¹、西原 和貴¹、塩貝 純一¹、塚﨑 敦¹ (1.東北大金研)

キーワード：透明導電膜、電界効果トランジスタ、高移動度系

スズやビスマスなどの重い典型元素の複酸化物が、新たな酸化物デバイス材料として注目を集めている。本講演では、新規透明導電膜候補物質であるペロブスカイト型スズ酸化物BaSnO₃のエピタキシャル成長と透明導電膜およびトランジスタ応用に向けた取り組みについて紹介する。