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△ [15p-503-1] AlN結晶成長の昇華法におけるシード面近傍の物質流束解析
キーワード：輸送シミュレーション、昇華法、AlN結晶成長
本発表では，AlN昇華法におけるAlとN2の輸送シミュレーションを行い，炉内圧力と温度を変化させたときの，物質流束解析の結果を報告する．シード面近傍では，N2の平衡分圧が高く，シードからソースへのN2の逆拡散が起こるので，シード面に向かうNフラックスが減少する．結果として，シード面近傍では，Nに対するAlのフラックスの割合が10倍以上となる．結論として，昇華法では，Alリッチで成長が進行していることが予想される．