[15p-503-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15p-503-3] 活性化エネルギーを考慮したTMG分解プロセスの理論的考察

〇関口 一樹¹、白川 裕規¹、長川 健太¹、洗平 昌晃^2,1、寒川 義裕^3,2、柿本 浩一³、白石 賢二^2,1 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)

キーワード：窒化ガリウム、有機金属気相成長法、熱力学解析