[15p-503-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15p-503-4] GaN MOVPEにおける結晶成長マルチフィジックス流動シミュレーション

〇川上 賢人¹、山本 芳裕²、芳松 克則^3,2、岡本 直也²、寒川 義裕^4,3、柿本 浩一⁴、白石 賢二^3,2 (1.名大工、2.名大院工、3.名大未来研、4.九大応力研)

キーワード：窒化ガリウム、有機金属気相成長法