[15p-B6-1~16] 17.2 グラフェン

[15p-B6-13] 単層カーボンナノチューブアンジップ法による
グラフェンナノリボンの作製と電気的特性評価

〇藤原 泰造¹、田中 啓文¹ (1.九工大生命体)

キーワード：グラフェンナノリボン、アンジップ、単層カーボンナノチューブ

シリコンを主体とした大規模集積回路の微細化による性能向上は物理的限界が目前である｡特に配線材料は微細化による問題を克服する為に電子散乱が少なくキャリア移動度が高いカーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンナノリボン（GNR）などが盛んに研究されている。本研究では特に幅の狭いGNRが得られる単層カーボンナノチューブ(SWNT)アンジップ法を用いて単層GNR（sGNR）を作製し､その電気的特性の評価を行った。