[15p-B6-1~16] 17.2 グラフェン

[15p-B6-7] 減圧ドライ転写技術により製作した大面積グラフェン共振器

〇石田 隼斗¹、岩田 達哉¹、澤田 和明¹、高橋 一浩¹ (1.豊橋技大工)

キーワード：グラフェン、転写、共振器

グラフェンは高い電気伝導性に加え機械的強靭性に優れ、低質量であることからナノエレクトロメカニカル共振器への応用が期待されている。本報告では減圧ドライ転写技術により製作した大面積グラフェン共振器の共振特性について報告する。直径30 μm ~ 45 μmの大面積なグラフェン共振器において、機械的共振を観測することに成功した。直径30 μmの共振器において、共振周波数1.35 MHz、Q値300が得られた。