[15p-E206-1~15] 9.4 熱電変換

[15p-E206-1] 微小１次元ペルチェ素子アレイの試作と評価

〇山本 淳¹、村田 正行¹ (1.産総研)

キーワード：ペルチェ、半導体デバイス、温度制御