[15p-F204-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-F204-11] 紫外線照射による4H-SiCエピ膜中におけるSingle Shockley型積層欠陥の拡張と縮小

〇田中 貴規¹、塩見 弘¹、川畑 直之²、米澤 喜幸¹、加藤 智久¹、奥村 元¹ (1.産総研、2.三菱電機)

キーワード：SiC、積層欠陥、紫外線照射